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二氧化碳:安装高纯气体管道材质要求

二氧化碳:安装高纯气体管道材质要求

发布日期:2018/10/13 16:51:29

  安装高纯气体管道材质要求,气体不但可生产供应高纯气体,而且还应顾客要求,定制安装各种高纯气体管道工程,方便顾客集中利用气体。在安装高纯气体管道工程,根据不同的气体,材质也所要求!
  高纯度气体管道中所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到仪器用点(POU),为了达到仪器对气体的质量要求,在气体出口指标一定的情况下,则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。
  对输送高纯气体管道而言,其影响气体质量的管道材料主要特性是气体渗透性、出气速率、吸附性、表面粗糙度和耐磨性、抗腐蚀性。
  气体渗透性,不同材料对氧的渗透性材料大气中氧气的渗透(ppm)不锈钢管 O铜管 O聚丙烯管 1l聚四氟乙烯管 12普通钢管 203 从表看到,对于输送ppm级及更高纯度要求的气体,从气体渗透角度必须选用不锈钢管或者钢管,如果我们不恰当地选用了不符合要求的管道材料,那么,无论我们采取什么净化手段,都将是无济于事的。
  出气速率,材料冶炼过程形成的管道材料晶间或者晶格内部存在着某些杂质,如氮、碳氢化合物等,在高纯气体输送过程中,这些杂质会缓慢地释放出来,污染高纯气体,尤其是杂质要求在ppb以上级的高纯气体。通常低碳不锈钢管的出气速率极低。
  吸附性,由于水分等杂质是极性分子,吸附性很强。橡胶、塑料或一些表面粗糙的材料极易吸附水分等杂质,铜材对水吸附性极强,使用这些材料输送高纯气体易被污染,除了输送ppm级以下的氧气会使用紫铜管外,高纯气体都不采用铜管和塑料管,气体会接触到的垫片、填料也不得采用橡胶、塑料材料(包括聚四氟乙烯)。
  表面粗糙度和耐磨性,为了确保输送的气体纯净度,要求管道材料内表面有一个极高的光洁度,这样可以防止污染粒子及湿气在管壁滞留,可以在吹扫时比较容易吹净。管材比较光洁而且耐磨,可以在气流高速冲刷下,产生的金属粒子就少,不锈钢比铜管产生粒子要少,所以不锈钢管耐磨性优于钢管。
  抗腐蚀性,微电子生产中,经常使用一些腐蚀性很强的气体,这时必须采用耐腐蚀的管材,否则管道会被腐蚀,轻则表面产生锈斑,重则管道大面积剥落、穿孔,不但污染气体,还会发生安全事故。

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