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氮气批发的制备与工艺

氮气批发的制备与工艺

发布日期:2018/9/6 15:55:15

    电子工业、在晶体的成长与衬底的制备、氧化工艺、外延工艺中以及化学气相淀积(CVD)技术中,均要用到氢气。半导体工业对气体纯度要求极高,微量杂质的“掺人”,将会改变半导体的表面特性。
  电子工业中多晶硅的制备需求用到氢。当硅用氯化氢生成三氯氢硅SiHCl3后,通过分馏工艺分离出来,在高温下用氢复原,到达半导体需求的纯度:在制作非晶硅太阳电池中,也用到纯度很高的氢气。光导纤维的使用和开发是新技术革命的重要标志之一,石英玻璃纤维是光导纤维的首要类型,在制作过程中,需求选用氢氧焰加热,经数十次沉积,对氢气纯度和洁净度都有很高要求。
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